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名称:三氟化氮      型号:

三氟化氮nf3

 

 商品详细介绍

 

 

 a colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.
 (一种无色、有毒、不燃、具有氧化性的高压气体)

 formula(分子式):

nf3

 molecular weight(分子量):

71.02g/mol

 boiling point(沸点):

-73℃

-99.4°f

 melting point(熔点):

-168℃

-270.4°f

 vapor pressure(蒸汽压):

9997kpa(21.1℃)

1450psia(70°f)

 specific volume(比容):

0.34m3/kg(21.1℃,101.325kpa) 

5.4ft3/lb(70°f,14.696psia)

 threshold limit value(人体的最高容许浓度):

10ppm

 un number(un号码):

un2451

 dot classification(dot类别):

2.2(nonflammable gas)(不燃气体)

 dot lable(dot标签):

non-flammable gas (不燃气体)

 grsde(级别):

4n

 purity(纯度):

99.99%

 

 

 纯度规格

 

 impurity(非组分):

specification(标准)

 oxygen(氧):

≤10.0  ppmv

 nitrogen(氮):

≤10.0 ppmv

 carbon dioxide(二氧化碳):

≤10.0  ppmv

 carbon tetrafluoride(四氟化碳):

≤40.0 ppmv

 water(水):

≤1.0 ppmv

 acidity as hf(酸化物,如氟化氢):

≤5.0 ppmv

 nitrous oxide(氧化亚氮)

≤10.0 ppmv

 

 

 包装

容积

重量

连接阀门

 小钢瓶

44l 

20kg

cga640

 

 应用:等离子刻蚀;硅、氮化硅、钨·硅化合物和钨薄膜的刻蚀;cvd炉室清洗

 

 

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