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名称:六氟乙烷      型号:

六氟乙烷c2f6

 

 

 商品详细介绍

 

 

 a colorless,nonflammable,compressed gas.(一种无色不燃压缩气体)

 formula(分子式):

c2f6

 molecular weight(分子量):

138.01g/mol

 boiling point(沸点):

-78.2℃

-108.76°f

 melting point(熔点):

-100.7℃

-149.27°f

 vapor pressure(蒸汽压):

2965kpa(21.1℃)

430psia(70°f)

 specific volume(比容):

0.174m3/kg(21.1℃,101.325kpa) 

2.8ft3/lb(70°f,14.696psia)

 un number(un号码):

un2193

 dot classification(dot类别):

2.2(nonflammable gas)(不燃性气体)

 dot lable(dot标签):

non-flammable gas(不燃性气体)

 grsde(级别):

5n

 purity(纯度):

99.999%

 

 

 纯度规格

 

 impurity(非组分):

specification(标准)

 oxygen(氧):

≤2.0  ppmv

 nitrogen(氮):

≤8.0  ppmv

 carbon dioxide(二氧化碳):

≤0.5 ppmv

 carbon monoxide(一氧化碳):

≤0.5 ppmv

 other organics(其他有机物):

≤0.1 ppmv

 water(水):

≤1.5 ppmv

 acidity as hf(酸化物,如氟化氢):

≤0.1 ppmv

 

 

 包装

容积

重量

连接阀门

 小钢瓶

44l 

43kg

 cga660 diss716

 

 应用:刻蚀气体/等离子刻蚀

 

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